真空泵的離子檢漏技術(shù)概述
點(diǎn)擊次數:1738 更新時(shí)間:2020-07-22
真空泵正常工作中,嚴禁*關(guān)閉進(jìn)、排氣口閥門(mén),應注意定期觀(guān)察壓力情況,超負荷時(shí)安全閥是否動(dòng)作排氣,否則應及時(shí)調整安全閥,不準超負荷運行。對真空泵要做它的定期檢測工作。離子檢漏法與電離真空計檢漏法類(lèi)似,是利用示漏氣體進(jìn)入真空泵時(shí),泵電流將發(fā)生變化的特性進(jìn)行工作的,根據這種變化,可檢測出真空系統的漏孔,并可估算漏孔的大小。
在使用帶有真空泵的抽氣系統,或把被檢件接到真空泵抽氣系統上去時(shí),人們可以在任何時(shí)間、在壓力低于10-2 Pa的條件下,對系統或被檢件進(jìn)行檢漏。這種檢漏方法無(wú)須額外儀器,既靈敏又簡(jiǎn)便。其示漏氣體可選用氧、氬、氫等。
首先將真空泵抽空,抽到較低壓力后關(guān)閉閥門(mén),使泵保持在較低壓力下工作。接入被檢件,用前置泵排氣,當真空度達到1-10-1 Pa時(shí),關(guān)閉一閥門(mén)并打開(kāi)另一閥門(mén),用真空泵抽氣。
當達到平衡壓力后,用示漏氣體(如Ar)噴吹可疑有漏孔處,如噴吹到漏孔處時(shí),示漏氣體就會(huì )進(jìn)入系統,使真空泵的放電電流指示迅速上升,這是因為泵對氬氣抽速較低的緣故。
當用氫或氧來(lái)檢漏時(shí),將會(huì )引起泵電流的下降,因為真空泵對這些氣體的抽速比對空氣的抽速大。
這種方法的靈敏度為10-4~10-9Pa·m3·S-1。根據漏孔的大小,可以調節閥門(mén)開(kāi)啟程度實(shí)現其檢漏效能。檢漏時(shí)須注意其靈敏度與壓力成反比,因此應盡量在較低的平衡壓力下進(jìn)行檢漏;示漏氣體經(jīng)過(guò)凈化處理。